傅里葉紅外氣體分析儀使用紅外線進行氣體分析。這是基于待分析組分的不同濃度，吸收的輻射能量不同。剩余的輻射能量使探測器中的溫度升高不同，移動薄膜兩側的壓力不同，從而產生電容探測器的電信號。這樣，可以間接測量待分析組分的濃度。
傅里葉紅外氣體分析儀的工作原理如下：
紅外氣體分析儀使用兩個獨立的光源產生兩條紅外線，通過調制器，成為5Hz射線。根據實際需要，可以通過過濾器減少背景氣體中其他紅外吸收氣體成分的干擾。
紅外線穿過兩個氣室，一個是充滿連續流動的被測氣體的測量室，另一個是裝滿非吸收背景氣體的參考室。在操作期間，當測量室中被測氣體的濃度改變時，吸收的紅外光的量將相應地改變，而參考光束(參考室光束)的光量不會改變。來自第二腔室的光量差穿過檢測器，導致檢測器產生壓差，該壓差成為電容檢測器的電信號。
接收室中充滿樣品氣體中的等待組分。兩個接收室由薄金屬膜隔開。當兩個測量壓力不同時，薄膜會變形并產生位移。固定圓盤電極放置在膜的一側。可動隔膜和固定電極構成電容式逆變器的兩極。整個結構保持嚴格密封。兩個接收室中的氣體由一個活動薄膜隔開，但在結構上設置了一個直徑為百分之幾毫米的小孔，以使兩側的氣體保持靜態平衡。
